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      1. 光刻機是誰發(fā)明的 世界上第一臺光刻機是誰發(fā)明的

        更新時間:2022-10-24 21:48:26作者:智慧百科

        光刻機是誰發(fā)明的 世界上第一臺光刻機是誰發(fā)明的

        品牌型號:慕朗迪光刻機
        系統(tǒng):k12

        光刻機是誰發(fā)明的 世界上第一臺光刻機是誰發(fā)明的

        光刻機是法國人Nicephore niepce(尼埃普斯)發(fā)明的,起初是Nicephore niepce發(fā)現(xiàn)了一種能夠刻在油紙上的印痕,當其出現(xiàn)在了玻璃片上后,經(jīng)過一段時間的暴曬,透光的部分就會變得很硬,但是在不透光的部分可以用松香和植物油將其洗掉。

        光刻機(lithography)又名:掩模對準曝光機,曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù),把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。光刻機的主要性能指標有:支持基片的尺寸范圍,分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產(chǎn)效率等。分辨率是對光刻工藝加工可以達到的最細線條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統(tǒng)、光刻膠和工藝等各方面的限制。對準精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度。曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。曝光光源波長分為紫外、深紫外和極紫外區(qū)域,光源有汞燈,準分子激光器等。


        本文標簽: 光刻  就會  部分  玻璃片  松香